Al掺杂ZnO薄膜制备工艺研究

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【摘要】

：

Al掺杂ZnO薄膜(AZO)是一种新型的透明导电薄膜,具有广泛应用前景。采用高密度AZO靶材用RF磁控溅射法在玻璃衬底上制备出AZO薄膜样品,研究了镀膜时间、靶衬距、Ar气压强、溅射功率、衬底温度等制备工艺对薄膜的电阻率、透过率及薄膜结构的影响,并进一步优化工艺参数,制备出性能优良的AZO薄膜;针对AZO薄膜性能上和应用中存在的问题,从复合薄膜的角度对膜系进行了一些改进尝试。具体如下:1、氩气压强

【作者】

：

惠述伟

【机构】

：

中南民族大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

AZO薄膜电阻率透过率制备工艺

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