太赫兹因其独特的性质被广泛地应用于安全检查、物质检测、保密通信等领域。但是,由于相关发射和探测技术的落后,太赫兹波成为为电磁波谱中最后一个研究空白。超材料因其优异的电磁性质成为电磁学的一个重要分支,通过合理设计超材料的结构和材料参数,可以对电磁波进行任意的剪裁,因此太赫兹超材料的出现为太赫兹技术的发展和应用带来了新的机遇。本文主要开展太赫兹超材料吸波器的设计、制备及性能调控等研究,主要研究内容及结论概括如下:(1)设计了一种具有螺旋环结构的新型超材料。系统的仿真结果显示,与常规超材料吸波器的调节方式不同,在材料的种类及厚度都不变的情况下,仅通过改变表面螺旋环的环数或环的起始和终止位置,就能高效地调节螺旋环超材料的太赫兹响应性能。这是因为螺旋环能够产生较强的耦合作用,同时由于其谐振的不完全对称性,使螺旋环超材料的响应频率更加依赖结构参数。而且,这种超材料的吸收响应频率可以通过驻波公式计算得到、具有可预见性。(2)利用微细加工中的掩膜和光刻两种技术分别成功地制备出柔性超材料吸波器。形貌表征结果显示,采用掩膜技术所制备的柔性太赫兹超材料吸波器的表面方形谐振器更规则、边缘更整齐。重要的是,SiNx掩膜可以反复利用,使超材料的制备更加容易。(3)通过外力使柔性太赫兹超材料吸波器发生弯曲的方式,对超材料的太赫兹响应特性进行调节,由此使其响应频率从4.45 THz调节到5.26 THz,调节范围可达0.81THz,并通过等效电路法进行了分析论证。(4)在已经制备出柔性超材料吸波器的基础上,通过自组装的方式覆盖一层(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷单分子膜。通过傅里叶中红外变换测试系统证实(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷单分子膜的确生长在超材料的表层金属谐振器的表面。据此,使超材料的响应频率从原来的4.80 THz被调节到4.74 THz,而且吸收率整体上移。