短程振动加工(或称超精研和短程珩磨)是完成精密和超精密加工最重要的工艺之一,在机械加工领域中起到非常巨大的作用,具有加工量少,加工精度高等特点。但是随着机械行业的发展,传统磨削工艺己经不能满足生产需求,行业趋势已经向精密和超精密加工方向发展,超精密加工己经成为现在高科技产业的重要支撑。传统的磨具,由于排布的无序化容易导致油石的堵塞,可能造成工件表面严重损坏等结果。这对油石表面的质量和油石的寿命造成了非常不利的影响。因此,提高油石珩磨性能已经成为刻不容缓的任务,改进的办法之一是把油石的不规则表面的磨粒进行有某些规律的排布。对此,本文把自然界中的叶序排布理论引用到电镀油石设计与制造当中以改善油石加工能力。主要工作如下:首先,通过有序化排布理论,将油石按阵列,错位,叶序有序化排布,明确每种排布的磨粒大小和磨粒之间的间距。了解这些参数对磨粒排布的影响。之后通过UG建立磨粒有序化排布电镀油石的模型和短程振动加工运动学模型,并使用MATLAB软件对加工表面的创成轨迹进行了仿真,选取合理的排布参数及加工参数范围。其次,分析了电镀油石的制造工艺,确定并优化了掩膜曝光技术制造磨粒有序化油石的工艺流程与条件,制造出符合条件的阵列,错位,叶序等有序化排布磨粒的电镀油石。最后,实验调查了有序化排布磨粒油石的加工能力和表面形貌的创成过程,分析了相应规律,验证了仿真结果的正确性,分析了产生缺陷的原因,初步得到预期的加工结果。