单点金刚石超精密车削已成为目前制备高表面质量元器件的重要加工技术手段之一,而微圆弧单点金刚石刀具的刀尖圆弧制造精度在加工过程中也是影响加工质量的关键一环。微圆弧金刚石刀具可以通过修磨等手段来提高制造精度,但无论如何始终存在一定的偏差,所以在利用微圆弧金刚石刀具加工工件时,可以通过误差补偿的方法来提高加工精度。本文以获得刀具波纹度对加工工件表面质量以及面形精度的影响规律为目的,利用Matlab软件建立了数值仿真模型,据此展开了不同刀具波纹度下不同进给速度以及刀尖圆弧半径的数值仿真研究。首先利用半径波幅仪对刀具进行测量,根据测量结果,得到了两种较为典型的刀具波纹度,中频小幅值波纹度与低频大幅值波纹度。然后对车削过程进行了理论推导,根据理论推导过程利用Matlab软件建立数值仿真模型,研究了中频小幅值波纹度与低频大幅值波纹度的刀具在不同进给速度以及刀尖圆弧半径下对加工工件表面质量以及面形精度的影响。开展了微小圆弧超精密车削加工实验,并利用白光干涉仪和轮廓仪检测加工后的圆弧曲面的表面质量以及面形精度,结合仿真结果,得到了刀具波纹度对工件表面质量及面形精度的影响规律。在文献的调研中发现,在刀具前刀面上加工织构可以改善切削性能,提高工件表面质量。因此,本文也开展了在金刚石刀具前刀面上加工微织构,并利用ABAQUS软件建立二维正交切削有限元仿真模型,结合超精密切削实验研究微织构刀具对切削加工过程以及加工工件表面质量的影响。建立有限元仿真模型,系统地开展了金刚石微织构刀具切削加工的有限元仿真研究。首先研究了不同织构形状对切削加工过程中切屑以及加工工件表面质量的影响。接着研究了织构宽度、织构深度、织构间距以及织构起始位置到刀具刃口的距离对切屑以及加工工件表面质量的影响,并得出综合性能最好的织构参数组合。