随着半导体技术的飞速发展,芯片集成度不断增大、管脚数量迅速增多、引线间距日益减小,对定位平台的精度、速度和稳定性提出了更迫切的要求。本文以高速精密定位平台为研究对象,提出了一种新型两自由度直线电机定位平台的结构,研究了其结构设计及静动态特性,并搭建了测试平台对其进行实验验证。主要研究工作及取得的成果如下：首先,综合考虑串并联机构的优缺点及直线电机驱动的优势,为了消除摩擦力对定位平台性能的影响,设计了由直线电机直接驱动的广义并联气浮定位平台,利用三维建模软件Soildworks的参数化构型方法构件零件的三维模型,通过对三维零部件结构特征的修改,使机构的空间布局合理,以满足装配、制造等方面要求。利用有限元分析软件ANSYS对所设计的平台进行静力学和动力学分析,以寻求最佳设计参数的组合,使气浮面的变形小于0.1μ m,同时,尽量减小移动部件的质量,在此基础上对定位平台的结构进行优化设计。其次,在MATLAB软件环境下,依据雷诺控制方程和气体流量守恒定律,研究了整体式气浮定位平台及气浮驱动机构的气浮特性,对气浮定位平台的承载力、气浮驱动机构在不同工况下的承载力等进行了分析研究。最后,基于上述研究内容,进行了定位平台的加工,搭建了测试平台并进行了定位平台性能的测试,实验结果与理论分析基本符合,能够满足设计要求。上述研究内容丰富了芯片封装的设计理论,对促进封装设备技术进步具有重要意义,为进一步研究高加速度气浮定位平台的制造奠定了一定的理论基础。