芯片指向在线检测系统的开发和研究

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半导体芯片质量控制其中的一个任务是检查在打标机上的位置是否正确。芯片上的方向标识字符非常小,数量也非常多,用人工的方法无法完成这项工作。因此,一个自动检查系统就非常重要了。在这个自动检查系统中,对芯片上的字符进行自动识别是一个必需的步骤。该系统的作用是自动识别芯片上的指向在托盘的矩阵位置,它是集成芯片打标工艺中生产质量控制的核心部分。本文主要对芯片方向自动识别系统的一些基础技术进行了探讨和研究,以降低减小漏报和误报率。根据系统的处理流程顺序,本文讨论了系统的软,硬件构成,系统的自动检查原理及其算法。重点对其中的关键技术——机械位移控制模块中的伺服系统,图像预处理中的图像分割技术,Sobel算法等进行了比较深入的探讨和研究。通过MATLAB仿真,利用指向检测算法对若干幅IC图像进行了离线检测,检测结果全部正确,且检测快速。仿真和实验结果表明该芯片字符自动识别系统工作正常,漏报和误报率都比较低。
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