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近年来随着机械制造,计量科学,材料科学等学科的迅猛发展,作为精密机械与精密仪器的关键技术之一—精密定位技术,目前已经进入了“纳米”时代。纳米级精密定位技术在微电子技术、光学工程、微机械制造与装配、生物工程、高精度的基础测量等众多科学领域中得到越来越广泛的应用。本文在调研了大量执行机、电容传感器和微位移机械平台的设计等文献的基础上,根据实验室弱力测量的需求,设计并研制了一种结构小巧的两维纳米级精密定位系统。该系统采用压电陶瓷执行机驱动一个正交簧片式设计的微位移平台,利用自行研制的