本文制备了一种新颖的具有光敏性和辐射聚合性的HfO₂—SiO₂混合溶胶-凝胶玻璃。我们分别采用紫外线、X射线作曝光光源对薄膜进行了曝光，通过FTIR的测试，分析了薄膜曝光前与曝光后的结构变化，表明该材料具有良好的光敏性和辐射聚合性。X射线光电子能谱表明凝胶薄膜中含有C、Si、O、Hf四种元素。 通过对材料光学性能、力学性能和热稳定性的分析，证明该材料具有良好的光学性能、力学性能、热稳定性和化学稳定性。而且HfO₂—SiO₂混合体系的光学性能与TiO₂—SiO₂、ZrO₂—SiO₂体系相比有所提高。 最后，利用其光敏性和辐射聚合性分别制备了衍射光栅。使用这种方法制备衍射光栅省去了传统方法中繁琐的刻蚀步骤，不再使用昂贵的刻蚀机。所以，使用这种方法制备微光学元件其方法简单，设备容易操作，而且成本低廉。同时，我们也采用了较简单的方法制备了微透镜阵列。