基于软刻印技术的微透镜阵列制作

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有机电致发光从最初进行的研究直到今天,在许多方面都有了很大的突破,但目前仍存在着一些困难,例如器件的寿命就是比较关键的问题。如果器件具有较高的发光效率,便可在出射光子数相同的情况下,减少电子数的注入,从而降低了器件的焦耳热,提高了器件的寿命,所以提高OLED的量子效率是解决器件寿命问题的关键所在。利用微透镜提高器件的外量子效率可以取得明显的效果。第一章介绍了有机电致发光器件的优点,器件的几种结构,发光的机理,以及评价有机电致发光器件的一些主要参数。阐述了OLED是一种很有前途的显示技术,以及存在的一些困难。第二章介绍了折射型和衍射型微透镜,尤其介绍了折射型微透镜的制作方法和图形转移技术,阐述了利用微接触法制作微透镜的优势。第三章首先从理论上计算了OLED器件的外量子效率,然后介绍了光学软件Tracepro的优点和工作原理,利用Tracepro对OLED及其微透镜进行光学仿真方面进行了探索,并对微透镜相关参数进行了优化。第四章研究了OLED器件的折射型微透镜制作工艺,介绍了采用高分子聚合物材料Poly(dimethylsiloxan)制作微透镜阵列的优劣和详细的制作工艺参数等,脱膜是本实验中最关键的一步,主要是由于高分子聚合物PDMS对玻璃有很强的黏附性,固化成膜之后就和玻璃基板粘在一起,很难剥离。所以在实验中保持对固化过程的密切注意,等到PDMS固化成形但尚未完全固化时进行剥离,然后继续烘烤,使其完全固化得到微透镜阵列。利用湿法刻蚀玻璃作为模版,采用PDMS作为材料制作了直径200微米的柱微透镜阵列,但玻璃模版是由湿法刻蚀所得,在精度和微透镜尺寸上都有一定的局限性。然后利用不足显影法得到的光刻胶作为模版,将微透镜尺寸从200微米缩小到50微米,而且可以通过改变光刻胶的厚度和显影时间来改变微透镜的形状,得到了圆台形微透镜阵列,通过测试可得外量子效率增强10%。在论文的最后提出了进一步研究的方向和改进措施,同时就其发展前景进行了展望。
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