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太赫兹波滤波器作为太赫兹系统中重要的功能器件，在太赫兹通信系统、太赫兹检测系统中被广泛应用。由于应用环境中存在着噪声等影响因素，为了提高各种太赫兹系统的整体性能，需要利用太赫兹波滤波器来滤除不需要的频率和噪声，得到实际应用中所需要的太赫兹信号，因此，太赫兹波滤波器研究工作受到了国内外学者重视。本文首先介绍了国内外太赫兹波滤波器的研究现状，设计了五种基于金属微结构的太赫兹波滤波器，测试并分析了它们各自的滤波性能指标。采用聚酰亚胺（Polyimide，PI）柔性材料作为基底材料，设计了基于周期性金属微结构的双通带太赫兹波滤波器，该滤波器具有可弯曲、重量轻、结构薄的特点。通过对该滤波器进行仿真计算和加工测试，获得该滤波器第一个通带中心频率点为0.485THz，通带范围为0.435-0.529THz，带宽为94GHz。该太赫兹波滤波器最大透射率仿真值为88.7%，实测值为66.8%；第二个通带中心频率点为0.741THz，通带范围为0.703-0.782THz，带宽为79GHz，太赫兹波最大透射率仿真值为89.2%，实测值为59.7%。采用金属铜材料设计了无基体的正六角梅花形排列的圆形孔镂空太赫兹波滤波器，通过数值计算得到该带通滤波器的中心频率为0.989THz，通带范围为0.826-1.158THz，3dB带宽为0.332THz，最高透射率为99.99%；用CST软件仿真验证得到该太赫兹波滤波器的中心频率为0.985THz，通带范围为0.833-1.159THz，3dB带宽为0.326THz，最高透射率为99.99%。理论计算与仿真验证结果基本吻合。采用金属铜材料设计了无基体的正六角梅花形排列的方形孔镂空太赫兹波滤波器，理论计算得到该滤波器的中心频率为1.2THz，通带范围为1.035-1.334THz，3dB带宽为0.299THz，最高透射率为99.99%；用CST软件仿真验证得到中心频率为1.2THz，通带范围为1.029-1.324THz，3dB带宽为0.295THz，最高透过率为99.99%。理论计算与仿真验证结果基本吻合。采用金属铜材料设计了无基体的正四边形排列的圆形孔镂空太赫兹波滤波器，该滤波器具有一个通带，理论计算得到中心频率为0.922THz，通带范围为0.831-0.976THz，3dB带宽为0.145THz，最高透射率为99.99%；用CST仿真验证得到该太赫兹波滤波器的中心频率为0.92THz，通带范围为0.832-0.975THz，3dB带宽为0.143THz，最高透射率为98.37%。理论计算与仿真验证结果基本吻合。采用金属铜材料设计了无基体的正四边形排列的方形孔镂空带通太赫兹波滤波器，理论计算得到该太赫兹波滤波器的中心频率为1.211THz，通带范围为1.102-1.318THz，3dB带宽为0.216THz，最高透射率为99.99%；用CST仿真验证得到该太赫兹波滤波器的中心频率为1.207THz，通带范围为1.090-1.309THz，3dB带宽为0.219THz，最高透射率为99.03%。理论计算和仿真验证结果基本吻合。与传统的硬板基底太赫兹波滤波器相比，本论文提出的柔性基底金属微结构太赫兹波滤波器具有尺寸小、可弯曲等特性；另外，本文设计的四种无基底金属微结构太赫兹波滤波器都具有较高的透过率，最高可达到99.99%。