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微波功率匹配负载是微波器件与微波电路中的一类通用元件,可以广泛应用于通讯、雷达、探测等领域的无线电子器件及系统中。随着无线通讯的快速发展,高频率、大功率、性能稳定的微波功率匹配负载的研究具有重要意义。本文采用直流磁控溅射制备TaN薄膜,对其微结构及电性能进行研究,并设计、制备具有高频率、大功率性能特征的微波功率匹配负载。得出以下几方面的结论:在TaN薄膜方面,研究氮流量和退火工艺条件对TaN薄膜微结构和电性能的影响。实验结果表明,对于Al掺杂的TaN薄膜,当氮流量从2%增加到7%时,薄膜电