温度传感器与微流道散热器集成方法与研究

来源 :电子科技大学 | 被引量 : 3次 | 上传用户：ncufox

【摘要】

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【作者】

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王杰军

【出处】

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电子科技大学

【发表日期】

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2018年01期

【关键词】

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Ti/Pt/Cr/Au金属薄膜退火重结晶温度电阻系数微流道散热器薄膜温度传感器微流体散热能力

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