微纳器件激光退火工艺的优化和探索

来源 :山东大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ad1234321

【摘要】

：

随着大数据和云计算的迅猛发展,集成电路需要处理的数据量不断增加,数据的存储变得越来越重要。为了满足市场对高性能和高密度存储设备的需求以及缓解平面NAND Flash的技术瓶颈,3D NANDFlash结构被提出。由于3D NAND Flash结构需要更低的热预算来减少温度对器件层的损坏,因此3D体系结构退火工艺的研究对于新一代存储器件具有一定的实际意义。本文主要围绕存储器制备中激光退火工艺的优化展

【作者】

：

马福帅

【出处】

：

山东大学

【发表日期】

：

2019年09期

【关键词】

：

激光退火有限元飞秒激光双温模型表征

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

其他文献

桂枝茯苓丸联合米非司酮对子宫肌瘤患者血清VEGF、性激素及血液流变学的影响

目的探讨桂枝茯苓丸联合米非司酮对子宫肌瘤（UM）患者血清血管内皮生长因子（VEGF）、性激素及血液流变学的影响。方法选取2016年8月-2017年7月收治的UM患者80例为研究对象,随机数字

期刊

桂枝茯苓丸米非司酮子宫肌瘤血管内皮生长因子性激素血液流变学

浅谈如何提升高校外事管理人员的专业素质和服务意识

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

期刊

外事管理人员专业素质服务意识

自来水厂滤池反冲洗废水直接回用的可行性研究

通过混凝搅拌试验研究自来水厂砂滤池反冲洗废水直接回用对水厂水质的影响,考察了南方地区自来水厂滤池反冲洗废水直接回用的可行性。研究结果表明,在回流比不超过15%的条件

期刊

自来水厂滤池反冲洗废水直接回用

何谓“美术批评”

何谓美术批评?这个看似不成问题的问题,实际上却常常出现问题。在报刊上,常见有太多捧场的文章,太多的套话和空话,太多的过分赞誉之辞令读者摇头。有些文章,深奥费解,引据经

期刊

美术批评批评家美术作品

高炉矿焦槽全自动上料控制系统

介绍高炉矿焦槽全自动上料控制系统的硬件配置、网络结构和软件功能设计方法。该高炉已投入生产,运行稳定,能充分发挥设备性能,满足生产需求。

期刊

矿焦槽上料控制系统高炉自动上料料单auto-feeding control system for blast furnace blast furnac

试析《史记》人物传记的叙事艺术——以《廉颇蔺相如列传》为例

期刊

《史记》人物传记叙事艺术《廉颇蔺相如列传》

给水厂滤池反冲洗水直接回用的长期运行效果分析

在生产性规模为110万m~3/d的南方A水厂,研究了给水厂滤池反冲洗水直接回用对后续工艺段出水的水质影响。长期运行数据表明,直接回用滤池反冲洗水不会对后续工艺段出水的浊度

期刊

滤池反冲洗水直接回用重金属微生物水生无脊椎动物

课堂教学中的教师话语权探析

教师的课堂教学话语权可以分为制度性话语权与个体性话语权，两种话语权应是相辅相成、缺一不可的：然而在现实中，教师制度性话语权处于绝对支配地位，甚至呈现出虚假权威，而个体性话

期刊

课堂教学教师制度性话语权个体性话语权对话

中学生演讲口才的培养及其他

“演讲口才”是指一个人口头表达的才能在演讲活动中的运用,是决定演讲效果的重要因素。我国自古以来,就有讲究说话技巧的传统。春秋战国时代,重视说话,讲究辞令,已成为一种

期刊

演讲口才中学生演讲者口语表达口语训练“四化”建设演讲活动常用字

微纳器件激光退火工艺的优化和探索

与本文相关的学术论文