建立与XPS/AES相连的阴极研究装置

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为了解决电子发射体(阴极)研究方法中存在的问题,并寻求一种适当的、方便的阴极研究实验方法,该论文论证了建立与AES相连的PLD装置的必要性和可行性,并实际建立了这一装置,实现了阴极的原位沉积、原位分析.电子发射现象是在电子发射体表面发生的物理过程,发射表面是由活性元素构成的动态平衡系统,这一系统直接决定电子发射性能.表面分析手段对阴极研究是必不可少的.PLD是制备薄膜的最好方法之一,PLD制备薄膜具有膜成分容易做到与靶成分一致,沉积条件容易控制、沉积速率高、实验周期短、应用范围大的特点.PLD适合少样品、多批次、薄膜质量要求高的阴极研究.俄歇能谱仪是重要的表面分析手段,具有很多优点,适合于阴极研究,国产的四倍频YAG激光器价格低、性能稳定、能输出绿光和紫光,光束聚焦后能达到镀膜要求.与准分子激光器进行了比较,YAG激光器有高的性价比.通过对AES进样室的改造,实现了AES与PLD的相连,也就实现了阴极薄膜的原位制备、原位分析.实际建立的系统包括激光器、外光路系统、真空制样室、俄歇能谱仪、电子发射测量仪.镀制了镧钼阴极,对镧膜进行了原位的成分分析.实验证明装置是可以使用的.
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