【摘 要】
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由于当前高度不确定的半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法。根据半导体制造生产线的设备特性,结合软件工程的设计方法,给出了半导体生产线基于规则
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由于当前高度不确定的半导体制造环境迫切需要能够快速响应生产线实际状态的调度方法。根据半导体制造生产线的设备特性,结合软件工程的设计方法,给出了半导体生产线基于规则的派工系统运用软件系统方法为半导体生产的派工系统提供准则,并以优化半导体生产为目标进行升级应用。该规则同时考虑了非批加工设备与批加工设备的工件派工,具有改善整条半导体制造生产线的能力。采用RTD和MES相互整合,根据需求分析和实验结果,进行系统的总体设计和详细设计,进而验证系统的可行性。本系统是本着以信息流集成优化为目标,以ERP、MES和PCS三层应用系统紧密结合的综合自动化整体解决方案便应运而生,为企业的生产经营提供有效的支撑。本文将对如何展开必要的讨论,建立半导体基于规则的派工系统,提供查询、切换等功能,以期提升自身生产能力并且满足客户需求为标准,而后将从生产管理的角度出发,针对在开发生产派工软件以及线上操作工人面对数以千记的货、无从下手等问题,提供一些必要的指导工作。在非批加工设备处,派工应综合考虑工件的紧急交货程度与下游设备负载；在批加工设备处,派工应优先考虑工件的紧急交货程度与设备加工能力的充分利用
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