现代信息技术的三大基础是信息采集(即传感器技术)、信息传输(通信技术)和信息处理(计算机技术)。随着集成电路和微机械加工技术的迅速发展,微硅传感器的研究和应用得到了极大的促进。目前在各个领域,硅微传感器正呈现商业化、产业化的应用前景。其主要优点是:微型化、集成化、低成本、低功耗、可靠性高等。作为传感器的一个重要分支,加速度传感器受到越来越多的关注,并广泛应用于航空航天、工业自动化、汽车安全气囊等领域。本文在对各种硅微加速度传感器特点进行比较的基础上,选择了差分电容式硅微加速度传感器作为研究对象。在对其工作原理和相关制作工艺进行了阐述和研究之后,提出了一种对称的“四梁-质量块”结构的差分电容式微加速度传感器。与传统的弹性膜结构传感器相比,这种传感器具有更高的线性度和灵敏度。根据建立的差分电容式微加速度传感器的力学模型,利用有限元方法对其进行了静力学和动力学分析。通过分析,得出了在不同加速度下传感器的应力分布,验证了该设计的有效性。同时,拟合出了悬臂梁及质量块的结构参数与质量块最大位移量和谐振频率的关系曲线,以及质量块受迫振动的谐响应曲线。这些分析为此类加速度计的设计提供了理论依据。最后,结合现有MEMS工艺,给出了差分电容式硅微加速度传感器的结构尺寸、工艺流程及版图设计。