基于表面压痕技术的微透镜加工及其面形控制

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随着微型化和智能化成为现代工业和科技发展的主要方向,当前的仪器设备已朝着光、机、电集成的趋势发展。微光学元件的制造技术作为微光学技术的核心内容,也是各国精密制造领域的研究热点。因此微型化、低成本、低功耗的微透镜及其阵列的制作技术成为人们关注的焦点,其应用对航空航天、传感、遥感、国防及生物医学等领域产生了重要影响。本文将采用一种全新的基于硅-氧基玻璃材料表面机械压痕技术的微透镜及其阵列的制作方法,来实现微米和纳米尺度高质量微透镜及其阵列的精密加工。由于玻璃材料具备良好的机械强度、热膨胀及光学性能,是反
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