等离子体平板紫外光源是一种采用氖氙混合气体放电的新型平板紫外光源,具有无环境污染、响应速度快等优点。目前紫外光源广泛应用于环保、能源、加工、照明、医疗等方面。尤其在生物医疗领域上,治疗多种皮肤顽症、促进人体维生素D的合成、增强人体免疫力方面,有着广阔的应用前景。本论文包括等离子体平板紫外光源的理论仿真、制备方法和驱动电路的研究。本论文结合等离子体放电原理和发光特性,深入分析了紫外光源的放电过程。采用粒子网格-蒙特卡罗碰撞(PIC-MCC)数值模拟方法,对放电单元模型的放电过程进行模拟,分析了电极间距和氙气比例对放电特性的影响,对平板紫外光源的结构参数进行优化设计。结果表明：长电极间距能很好的改善放电性能。在理论分析的基础上设计出电极结构,探索研究了平板紫外光源的制备方法与测试方法,提出了针对石英玻璃与普通玻璃封接的技术方案。论文还研究了柔性平板紫外光源的制备方法,并对柔性平板紫外光源进行点亮测试实验。本论文对等离子体紫外光源的驱动方法进行研究及驱动电路的制备。首先在现有等离子体平板可见光源的基础上进行参数采集,采用绝缘栅双极型晶体管(IGBT)及其门极驱动IC技术,控制高压开关和开关驱动器件的导通和关闭,制备匹配的驱动电路,并优化其驱动波形。该驱动电路可以实现维持电压为0-1500V,频率为0-50KHz可调的方波脉冲,且可使等离子体平板可见光源持续均匀放光。为平板紫外光源的驱动提供可靠的电路。