采用VHF-PECVD在不锈钢衬底上沉积非晶硅太阳能电池

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21世纪,人们面临着能源危机和环境污染的重大挑战,开发新能源和可再生清洁能源成为最具决定影响的技术领域之一。其中,太阳能光伏技术是近年来发展最快、最具活力的可再生清洁能源技术。作为第二代太阳能电池,非晶硅薄膜电池能够降低电池成本,是未来研究应用的热点之一。本论文采用美国进口的七腔室连续MVSystems PECVD沉积系统,优化工艺,在玻璃衬底上得到光电性质良好的非晶硅本征层,并将它应用于不锈钢衬底上的非晶硅薄膜电池中,提高电池的效率。本论文的主要研究内容和结论如下:首先,采用甚高频等离子体
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