本论文采用共溅射的方法制备了Fe-Co合金薄膜，研究了Co93Fe7、NiFe、Fe和Cu等衬底对薄膜结构和磁性的影响，重点研究了Co93Fe7这一衬底薄膜结构和磁性能的影响。得到的结论如下：1.单层Fe-Co薄膜的成分和磁性能这部分主要研究了成分和基板温度对薄膜磁性能的影响。 基于这部分工作得出以下结论：A在Co含量在30﹪～40﹪at.﹪的成分区域内，薄膜的饱和磁化强度几乎都有μ0Ms=2.4T大小；基板温度升高时，薄膜的矫顽力降低很快，饱和磁化强度则有轻微的升高；C.基板温度在360℃左右时，薄膜的饱和磁化强度和矫顽力有较好的值。Co93Fe7/Fe65Co35型薄膜的结构和磁性能这部分研究了高Co衬底Co100-yFey(0≤y≤11)成分、厚度对薄膜磁性能的影响，以及主层厚度变化时对薄膜磁性能的影响。 　　最终用共溅射的方法成功制备了用于超高密度磁记录磁头的、具有高饱和磁感应强度和低矫顽力的FeCo合金薄膜。