气体微小流量测量技术在半导体加工、汽车电子、医疗等行业有广泛应用,但相关流量计的检定/校准技术还比较缺乏。本论文针对基于层流流量计的标准装置进行研究,主要工作和结果如下:(1)新型气体层流流量传感技术研究。针对传统层流流量传感器毛细管流动入口段和进出口局部阻力非线性问题,提出了差分式和压力位差式层流流量传感方法。对于差分式和压力位差式层流流量传感技术原理进行了理论分析,分析了这两种层流流量传感技术中传感单元管道各部分压力损失,绘制了压损曲线图,证明了这两种新型层流传感元件的流量与压损能够更好地符合线性关系,即哈根-伯肃叶定律。设计加工了差分式和压力位差式层流流量传感单元,进行了流量-差压关系测试实验,实验结果与理论比较吻合。(2)基于压力位差法层流传感单元的气体小流量标准装置设计开发。进行了基于压力位差法层流流量传感单元的气体小流量标准装置总体方案和测试管路方案设计,测量管路采用并联双通道的型式,标准装置流量范围0.08-30m~3/h。设计加工了集成式模块化压力位差式气体层流流量传感元件,对微差压变送器、PLC控制器、变频器和风机进行了选型。进行了测量与控制系统设计开发和上位机软件开发,完成了整体系统组装和调试。(3)气体小流量标准装置的测试校准。利用音速喷嘴流量标准装置和气体钟罩流量标准装置对所开发流量装置中层流流量测量单元进行了校准,音速喷嘴和钟罩流量标准装置校准实验流量范围分别为0.08-5m~3/h和0.5-30m~3/h,两条管路流量有重合区域以方便实际使用。经校准后,所开发气体小流量标准装置达到了设计流量和不确定度要求。