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太阳能电池(solar cells)是实现太阳能发电最重要的发明,主要是利用光生伏打效应(photovoltaic effect)将光能直接转换成电能的一种P-N结半导体装置。为达到大面积的太阳能电池及其普及化的目标,不断发展太阳能电池是一项不可避免的趋势。本文从CdS/CuInSe2薄膜太阳能电池的基本结构出发来制备和研究其各薄膜材料的性能。本论文主要采用磁控溅射(magnetronsputtering)方法制备包括透明导电膜(ITO)、Mo电极以及CuIn预置层等各薄膜材