采用程序升温还原法制备了Ni₂P/SiO₂催化剂，在不同条件下对其进行了水蒸气预处理。采用H2-TPR、CO吸附、NH3-TPD、H2-TPD、XRD、TEM、ICP-AES、N2吸附原位DRIFTS及活性评价等方法研究了水蒸气预处理对Ni₂P/SiO₂催化剂结构及氯苯加氢脱氯反应活性的影响，分析了水蒸气处理对Ni₂P/SiO₂催化剂加氢脱氯活性促进作用的机制。研究结果表明，水蒸气处理对Ni₂P/SiO₂催化剂物相及元素组成、Ni₂P晶粒大小、比表面积及孔结构无明显影响，但导致催化剂表面性质发生显著变化。30℃时水蒸气预处理后催化剂表面金属镍位数量无明显改变；240℃以上预处理后催化剂表面镍中心数量明显减少。水蒸气处理过程中Ni₂P/SiO₂催化剂表面形成新的P-OH基团，使催化剂表面酸量增大。在反应过程中引入水蒸气或用水蒸气预处理均可以明显提高Ni₂P/SiO₂催化剂催化剂的HDC活性。与水蒸气浓度及处理时间相比，水蒸气处理温度对Ni₂P/SiO₂催化剂HDC活性影响显著。随着预处理温度的提高，催化剂初始活性呈下降趋势，其中270℃以下水蒸气处理的催化剂初始活性较好。在513K、氯苯空速3.75mlCB·gcat^-1·h^-1及H2和氯苯的摩尔比9.0的反应条件下，经270℃以下水蒸气处理的Ni₂P/SiO₂催化剂上氯苯初始转化率高于93.8%，约是未预处理催化剂上氯苯初始转化率（5.6%）的17倍。本文分析认为，水蒸气处理对Ni₂P/SiO₂催化剂加氢脱氯的促进作用与金属Ni中心和P-OH基团之间的协同作用、镍的电子云密度降低有关。