基于PZT薄膜的压电超声行波电机设计与研究

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【摘要】

：

微超声电机(Micro Ultrasonic Motor)是一种利用MEMS(Micro-ElectroMechanical Systems)技术设计制作的新型电机,具有体积小、响应快、低速大扭矩、低噪声、抗电磁干扰与自锁能力强等优点,在航空航天、精密定位系统和生物医疗等领域具有广阔的应用前景。微超声电机利用压电材料的逆压电效应,在交流电压的驱动下定子发生超声振动,通过定、转子间的摩擦力带动转子转

【作者】

：

张广平

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

微超声电机 PZT薄膜压电效应摩擦驱动有限元分析

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