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基于MEMS技术制作的微F-P腔可调谐滤波器作为超光谱成像系统中的关键光学器件,在空间目标成像系统中有着广泛的应用前景。随着世界各国对太空资源开发的热情的与日俱增,体积小、分辨率高、光谱范围大、集成度高的微F-P腔可调谐滤波器已成为迫切需求。但是传统的光谱成像设备较为复杂,重量体积也很大,分辨率也不够高,很难满足遥感成像技术高光谱分辨率的需求。而利用MEMS技术制造的阵列式微F-P腔可调谐滤波器却可以做的很小,在半导体基片上和探测器集成,使整个超光谱成像系统变得更为简单,结构更紧凑,能耗更低,精确度更高。本文首先通过对微F-P腔可调谐滤波器的工作原理进行分析,探讨了器件的工作方式和驱动类型,并设计了整个微F-P腔的光学膜系结构,并对其光学结构进行模拟分析,结果显示:在红外中波段3~5μm的光谱调谐范围内,峰值透过率都保持在80%以上,半高宽(FWHM)保持在110nm左右,满足了实际要求;其次,利用有限元分析软件模拟了微F-P滤波器结构在施加不同驱动电压时的电学和力学特性,并确立了L-arm类型的悬臂梁结构。仿真结果显示:调谐过程中L-arm结构的驱动电压为1.95V最大的倾斜角为0.002°,器件结构平整度和稳定性较好,在达到位移0.5μm时L-arm结构施加电压仅为1.90V,远远小于另外X-arm(7.81V)和+circular-arm(8.97V)两种结构的驱动电压。接着制定工艺实验方案,对其器件工艺制备过程进行了实践探索,并完成了关键工艺节点的突破,最后对完成器件进行了结构测试,测试结果显示器件的腔体结构已经完全悬空。对于器件设计和工艺制备过程中存在的一些问题,作者分析对应的原因,并给出了下一步探索改进的方案方法。本课题研究的F-P腔可调谐滤波器,采用滤波式分光原理,利用干涉成像,具有光谱分辨率高和能量利用率高等优点,替代传统色散式光谱仪,并运用MEMS技术,结构更加轻型化,更适合航空航天设备。