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TiO2化学稳定性好、无污染、成本低廉、光催化活性高,是目前最具开发前途的催化剂。然而,由于TiO2光催化剂主要依赖于紫外光,对可见光的利用率低,因此限制了它的应用。为了提高TiO2在可见光区范围的吸收,必须对其改性。本文采用电子束蒸发法分别制备了掺杂Fe、Cu、Al的TiO2薄膜,研究主要工艺参数：掺杂元素种类和含量、基底材料及退火温度对薄膜成分、结构和形貌的影响。借助原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、拉曼(Raman)光谱、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)等