在该论文中,作者围绕SPM纳米加工和存储技术这一中心开展了一系列工作.一方面, 对SPM纳米加工技术的一些基本问题作了较为深入的探讨,对SPM加工系统的软硬件进行了优化与完善,并重点讨论了SPM纳米加工中两类最有前途的技术-纳米氧化和机械刻蚀的加工机理的技术实现.成功地在CaAs、Si、Cr、Au/Pd合金膜上制备出结构可控的纳米尺度的点、线和图形.探讨了砷化镓、硅、铬、AFM针尖诱导纳米氧化、Au/Pd 合金膜机械刻蚀等的机理问题.另一方面,研制和开发了STM信息存储材料,实现大面积记录点和文字信息的直接STM写入,提出利用STM针尖诱导材料气化分解实现超密度 信息存储的新一类存储原理.最后,对纳米尺度结构的另一类制备方法-从小到大的 原子、分子堆积纳米组装技术进行了探索,成功地将ODT、PATP、Au纳米粒子组装到GaAs(100)表面上,并研究了它们的光谱特性和抗氧化性能,为构造GaAs基纳米器件提供了一种新的思路.