虚拟样机技术在磁悬浮精密定位平台中的机电一体化研究

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本文综述了微电子制造设备发展趋势及其精密工作台如光刻机工作台的国内外发展现状及磁悬浮技术研究进展,概述了磁悬浮技术及直线电机驱动的工作原理,介绍了虚拟样机技术,详细研究了了虚拟样机的方法,阐明了应用虚拟样机技术研制磁悬浮精密定位工作台的现实意义。将磁悬浮技术和直线驱动技术相结合,采用虚拟样机技术手段设计研究了一种新型磁悬浮精密定位工作台,它是针对微电子行业IC 芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构,是创新性研究。利用磁悬浮技术将工作台悬浮在倒F 导轨上,消除了导轨
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