微细电火花加工技术作为一种金属微细加工的手段，具有非接触，宏观作用力小等特点，越来越受到广泛的关注。然而微细电极的制备是微细电火花加工的重要瓶颈之一。本论文提出了利用深刻蚀技术制备微小成形电极的新方法，在此基础上，研究了圆片级钨片化学机械抛光，钨和钼电极的电火花加工试验，ICP刻蚀工艺，并进行了制备微小成形电极的版图设计等。　　首先，研究了钨体材料的圆片级化学机械抛光，目的是获取表面平整的电极基片。通过钨小片进行抛光试验，探索出了合适的抛光工艺参数，再进行钨的圆片级化学机械抛光，抛光后平均表面粗糙度可达4.63nm。　　然后，进行了电火花工艺的基础性研究，为最终的微细电火花加工试验做经验准备。我们设计加工了合适的钨和钼电极，并选择不锈钢和钛合金作为工件材料进行电火花试验，加工出了相应的工件。研究了加工时间与电极面积的关系，电极相对损耗率与电极面积的关系。在加工效果上，我们可推断钛合金远比不锈钢难加工，钨电极的加工能力优于钼电极。尽管如此，钼电极在试验后，Ra仍小于1微米，符合加工要求。　　最后，对ICP刻蚀成形电极方案进行了初步研究。研究钨和钼的ICP刻蚀的工艺，并且对微小成形电极进行了版图设计。版图设计考虑了电极安全间距、面积效应、边角效应以及复杂形状电极的加工能力等问题。