微细电火花加工技术作为微细加工领域重要的组成部分,在电子、仪器、原子能、化纤、光导纤维、医疗器械等领域的微器件加工方面被广泛采用。随着微机电系统(MEMS)和现代电子电力技术的迅速发展,尤其是微细电极的在线制作技术的成熟,使得微细电火花加工技术进入了实用化的阶段,越来越受到人们的重视。微细阵列群孔在光纤连接头、化纤喷丝板、打印机喷墨板等构件中被广泛采用,因此研究高效率、性能可靠的微细加工技术及设备具有十分重要的意义。本文研制一种微喷部件阵列群孔集成加工装置,可在线加工10μm级微细阵列群孔(≥256个),其主要模块包括:X、Y轴宏微复合进给机构模块、Z轴宏微复合进给机构模块、电火花线电极磨削装置、主轴旋转装置、工件真空吸盘等,着重对其结构特点、动作原理、设计要点进行了分析。利用SolidWorks三维设计软件建立其模型,并利用Ansys Workbench有限元分析软件进行机械结构有限元分析,得到了装置各个零部件的应力分布情况,分析了对整机结构强度和刚度的影响。根据微喷部件阵列群孔集成加工装置实际工作环境所得到的有限元分析结果,进行了结构优化,优化后的装置体积小、重量轻、运动精度高、操作简便,提高了整机性能。对装置主要零部件进行模态分析,得到其各阶固有频率和模态振型,分析了整机在工作过程中的动态特性;并对装置进行运动仿真,得到主要运动模块的运动特性曲线(包括速度、加速度等),结果表明,该装置能够满足微喷部件阵列群孔加工技术要求。