探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯的电参数测试及功能测试。本课题主要研究的是200mm全自动探针测试台工作台的伺服控制系统，是随着半导体器件及集成电路工艺制造技术的飞速发展，根据国内半导体技术的发展和市场需求，中国电子科技集团公司第四十五研究所自行研制开发的200mm全自动探针测试台课题的子课题。 本论文主要阐述了200mm全自动探针测试台工作原理和测试过程，研究了该工作台控制系统的组成和结构。分析了控制系统中各个部件的性能和作用，并根据其特点和工作台的测试要求对其关键部件(交流伺服电机和驱动器、运动控制卡、光栅尺等)进行了选取。根据控制原理确定该控制系统中各个环节的数学模型，并利用MATLAB仿真软件中的Simulink软件包进行系统仿真，得出系统在阶跃响应输入条件下的仿真曲线。本控制系统采用基于PMAC多轴运动控制卡的闭环控制系统，利用PMAC运动控制卡自带的参数调节工具软件PEWIN进行系统PID调节和误差分析，得出实际的位移误差曲线，并与仿真曲线进行比较。最后利用已调节完成的PID参数，使探针测试台自动运行，采用双频激光测长仪对该工作台进行实际测量。测试结果表明，工作台的x、y方向运动的位移误差均小于4um，本控制系统完全满足200mm探针测试工作台的自动测试要求，达到预期的效果。