石英晶体压力传感器的精度高与良好的长期稳定性等特点，使其可以广泛的应用在气压与高度测量、压力自动校准和精密过程控制等领域。本课题研究的石英晶体压力传感器主要由压力敏感元件和激振电路这两部分组成，依据压电效应原理，以石英晶体为力敏元件，采用两个“锥形台”式结构来承载压力，将结构顶端压力转化成石英晶体的径向载荷，利用石英晶体的固有频率随外加载荷的变化实现检测被测压力的大小。采用COMSOL Multiphysics仿真软件设计并实现创新结构——等径向力结构，石英晶体振荡电路激励石英晶体达到谐振频率，对结构施加载荷，通过仪器检测出相应的频率变化，测量传感器频率量程与精度，实现力频压力检测。根据测量数据，对等径向力结构施加载荷大小与石英监控晶片的频率之间呈现较良好的线性关系。