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发展柔性或透明的铁电存储器是一个在众多领域新兴的技术目标,这些领域包括电子皮肤、可穿戴设备以及柔性手持设备。钙钛矿氧化物铁电薄膜在电子工业中被广泛应用,但其在柔性或透明存储器中的应用却一直受到限制。而许多有机铁电薄膜虽然具有柔性和透明性,但其电学性能和温度稳定性远不如钙钛矿氧化物铁电薄膜。Bi3.25La0.75Ti3O12因其抗铁电疲劳特性而闻名遐迩,该特性源于其特殊的层状钙钛矿晶体结构,这使得其成为铁电存储器的最佳选择之一。本文通过研究,在云母(Mica)衬底上分别成功制备了结构为SrRuCO3(底电极)/Bi3.25La0.75Ti3O12(铁电层)/Pt(上电极)柔性铁电存储器和结构为ITO(底电极)/Bi3.25La0.75Ti3O12(铁电层)/ITO(上电极)透明存储器。本文研究了柔性铁电存储器和透明铁电存储器的制备工艺和性能表征,包括以下三个方面:(1)在超薄云母衬底上成功制备了 Mica/SrRu03/Bi3.25La0.75Ti3O12/Pt柔性存储器(Mica/SRO/BLT/Pt)。该柔性存储器在平整状态、弯曲半径为2.2mm的状态和弯曲半径为1.4 mm的状态下铁电存储性能优异且保持一致,如饱和极化强度约为20 μC/cm2,介电调制约为84%,且在1OOKHz下经过疲劳翻转1.33×109次后,其铁电性能没有衰减。(2)在云母衬底上成功制备了 Mica/ITO/Bi3.25La0.75Ti3O12/ITO透明存储器(Mica/ITO/BLT/ITO)。该透明存储器透光率在可见光波段高于80%且铁电存储性能优异,如饱和极化强度约为20μC/cm2并具有超过80%的介电调制。(3)Mica/SrRu03/Bi3.25La0.75Ti3012/Pt 柔性存储器和 Mica/ITO/Bi3 25La00.75Ti3O12/ITO透明存储器均能耐高温、抗光照辐射,可以在20℃-150℃或在光照辐射(206 nm-650 nm)条件下正常工作。总之,这些柔性、透明铁电存储器存储性能优异且具有耐高温、抗辐射等特性,因而是新型高性能可穿戴设备或光电器件的理想选择之一。