真空镀膜机是典型的真空应用装置，是机电仪结合的杰出代表。当今的真空镀膜装置都配备了良好的自动控制系统。随着真空装置对数据采集的速度和精度的要求越来越高，为之配备性能优良的数据采集系统也提上了议事日程。研究和开发高速度、高精度数据采集系统对于真空装置安全生产、稳定运行、提高效率、降低劳动强度等，都具有积极的意义。本文介绍了镀膜机的总体结构、发展趋势，结合镀膜工艺流程，讨论了镀膜机数据采集系统的基本框架；介绍了虚拟仪器数据采集系统及LabVIEW的相关概念、组成结构、性能特点、发展趋势；分析了LabVIEW数据采集技术在镀膜机系统中的应用；设计了镀膜机运行中温度、真空度和流量的信号获取和变送电路；选用MP420数据采集卡作为被采集量与个人计算机的接口，构成了一个数据采集系统，实现了10通道数据采集；设计了基于LabVIEW的镀膜机运行过程数据采集系统监测程序，它包括：温度、真空度与流量的监测主模块，系统面板参数设定、控制按钮、结果显示等辅助模块。该程序具有多路采集、实时显示、存储管理等功能，从而实现对镀膜机运行过程的实时监测，其采样速率可调，历史数据可查询。本文设计的虚拟仪器系统已经通过模拟运行。由于虚拟仪器的模块化、开放性、灵活性的特点以及关键在软件，所以其修改、更新或重置都是非常方便的，无需从头做起。