MEMS捷联式惯性导航系统(MEMS SINS)是直接安装在载体中,利用MEMS加速度计和MEMS陀螺来测量载体相对于惯性空间的线运动和角运动参数,并经计算后实施导航任务的装置,具有体积小、自主性强等优点。由于导航系统直接固连在载体上,载体的任何振动都将直接传递到系统中陀螺、加速度计等惯性元件上,大大降低了MEMS SINS的导航精度。尤其在导弹应用环境中发动机振动、空气扰动等因素都将使惯性器件产生严重的动态测量误差。因此,研究振动力传递,减小环境振动对MEMS SINS输出精度的影响显得尤为重要。本文在分析大量国内外相关资料的基础上,为满足导弹应用环境对振动噪声抑制的特殊要求,通过对小尺寸、轻载荷隔振对象隔振系统进行深入研究,利用理论分析和试验测试相结合的方法对MEMS SINS的隔振系统进行了设计与研究,仿真和试验结果表明所设计的隔振系统具有良好的隔振效果。文章主要研究内容如下:首先,从MEMS陀螺的工作原理出发建立了不同方向线振动条件下陀螺输出误差幅值的数学模型,并通过正弦扫频振动实验得到了模型参数,分析模型得出,若隔振设计只针对MEMS陀螺,隔振系统的截止频率应越低越好。接着,参考振动条件下MEMS陀螺误差输出模型,结合工程实际确定了MEMS SINS的性能指标。由确定的性能指标及正弦扫频振动试验得到的幅频特性曲线完成了单自由度隔振系统设计,为适应单自由度隔振系统设计结果,减小线振动和角振动之间的耦合,完成了隔振系统的解耦设计。然后,根据单自由度隔振系统设计结果对隔振器刚度和阻尼的要求,结合橡胶隔振器的超弹本构模型,完成了橡胶隔振器的设计。Radioss仿真分析结果表明,设计的隔振器能够满足隔振系统的刚度要求。最后,采用试验的方法,分别验证了隔振后MEMS SINS输出的性能指标和隔振效果。通过正弦扫频振动试验得出,隔振后X、Y向(轴向和侧向)MEMS SINS的截止频率分别为125?15 Hz、105?10 Hz,放大倍数约为6.024 d B、5.47 d B,由于隔振器侧向结构完全对称,故在三轴线振动方向上,设计的隔振系统基本满足性能指标要求;通过对比Y向正弦扫频振动激励下,隔振前后MEMS SINS各惯性器件的输出曲线及各惯性器件输出误差的大小得出,设计的隔振系统具有良好的隔振降噪效果。尤其在陀螺的隔振降噪方面,隔振后X、Y、Z三个方向上陀螺输出标准差分别下降到了原来的:43.5%、40.2%、34.6%。