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柔性氧化锌（ZnO）薄膜作为新型透明导电氧化物（TCO）薄膜,具有重量轻便、体积小巧、可折叠弯曲、应用范围广等多种优势,符合当前科技领域对于元器件轻薄性、便携性的发展需求,并已逐渐替代硬质衬底薄膜,被越来越广泛的运用在可穿戴式设备、柔性显示屏、光伏电池等众多领域。但由于柔性衬底的制约,其综合光电性能及其稳定性往往不及传统硬质衬底薄膜,因此如何提升综合光电性能并保证性能稳定性成为当前对柔性ZnO基薄膜研究的主要方向。经过文献调研发现目前有关柔性ZnO基薄膜的介质/金属/介质（D/M/D）三明治结构的研究较多,但中间导电金属层多以价格昂贵、资源稀缺的贵金属为原料,而少见采用成本较低、原料广泛的普通导电金属的D/M/D结构薄膜研究,且有关提升柔性ZnO基薄膜性能稳定性的研究也鲜有报道。针对上述两个问题,本文立足于柔性ZnO基多层膜,重点研究D/M/D结构薄膜中间金属的厚度比与沉积顺序对于柔性ZnO基多层膜综合光电性能的影响;并引入BN薄膜,进一步研究BN层对于柔性ZnO基多层膜光电性能稳定性的影响,取得了一些有意义的研究结果。1、采用磁控溅射法在柔性PET衬底上沉积了ZnO层和中间金属Al与Cu层,制备了柔性ZnO/Al/Cu/ZnO多层膜。选择不同厚度比的Al层和Cu层,重点研究Al与Cu层的厚度比对柔性ZnO基多层膜综合光电性能影响。此外,在Al与Cu层的最优厚度比的基础上进一步改变Al和Cu层的沉积顺序,考察了中间金属层的沉积顺序对柔性ZnO基多层膜综合光电性能的影响。分别使用扫描电子显微镜（SEM）、EDS能谱仪对多层膜表面形貌和相组成进行分析,并使用紫外-可见分光光度计和四探针测试仪测量多层膜的透光率和方块电阻,最终利用品质因子(FTC)公式对柔性ZnO基多层膜的综合光电性能进行计算。实验与表征结果证明,中间金属层的厚度比对柔性ZnO/Al/Cu/ZnO薄膜的综合光电性能有显著影响,而沉积顺序对其光电性能影响不大。具体来说,当Al:Cu=6:2（即Al层厚度为6 nm,Cu层厚度为2 nm）时,柔性ZnO/Al/Cu/ZnO薄膜的综合光电性能达到最优,此时多层膜在400800 nm范围内的平均透光率为84.73%,方块电阻为108Ω/sq,品质因子为1.77×10-3Ω-1;在最佳Al与Cu厚度比下改变其沉积顺序后,薄膜的综合光电性能变化不大。2、基于以上结果,在最佳Al与Cu厚度比和沉积顺序下引入BN薄膜,采用相同制备方法制备出柔性BN/Al/Cu/ZnO多层膜,重点研究顶层BN层厚度对柔性ZnO基多层膜综合光电性能的影响。实验结果显示,当顶层BN厚度为100 nm时,柔性BN/Al/Cu/ZnO多层膜的综合光电性能最优,品质因子达到最大值8.15×10-4Ω-1。随后基于BN最佳厚度,制备柔性BN/Al/Cu/ZnO多层膜与柔性Al/Cu/ZnO多层膜,对比研究顶层BN对于柔性ZnO基多层膜光电性能稳定性的影响。实验结果证明,BN层的引入可明显提升柔性ZnO基多层膜的光电性能稳定性。在不同温度环境下,BN层优良的耐热性可降低温度过高对柔性ZnO基多层膜光电性能稳定性的影响,在80℃下烘烤18 h后,柔性BN/Al/Cu/ZnO多层膜的品质因子达到9.61×10-4Ω-1,而此时柔性Al/Cu/ZnO多层膜的品质因子下降明显,仅为1.69×10-4Ω-1;在常温环境下静置不同时间,顶层BN作为保护层可使柔性ZnO基多层膜中导电金属与空气隔绝,且BN优异的抗氧化性又能确保柔性ZnO基多层膜在长时间静置过程中不发生氧化还原反应,从而不影响其光电性能的稳定性,在常温下静置24 h后,柔性BN/Al/Cu/ZnO多层膜品质因子为1.26×10-3Ω-1,而此时柔性Al/Cu/ZnO多层膜品质因子为6.70×10-4Ω-1。