能源危机、环境污染与温室效应是人类正面临的重大挑战,开发新能源和可再生清洁能源成为21世纪最具决定影响的技术领域之一。太阳能是一种取之不尽、用之不竭的可再生清洁能源,作为太阳能利用的重要手段之一,对太阳能电池的研究与开发也变得日益重要。非晶硅薄膜太阳电池有如下优点:制作工艺简单,衬底温度低,耗材少,能沉积在廉价的衬底上,故成本低;能容易地应用集成工艺和大面积生产,进一步降低成本;容易与建筑材料相结合,构成光伏建筑一体化系统。因此,非晶硅薄膜太阳电池是一种很有发展前景的太阳电池,得到了广泛的研究。利用三室连续PECVD系统,采用RF-PECVD法在普通玻璃上沉积非晶硅薄膜材料并在透明导电（TCO）玻璃上制备pin结构的单结非晶硅薄膜太阳能电池,研究了非晶硅薄膜材料及其电池的制备方法、工艺过程和相关工艺对电池各层薄膜材料性能的影响,以及i层厚度对电池性能的影响。主要的工作总结如下:1)非晶硅薄膜材料及其pin单结太阳能电池的制备以及性能测试;2)非晶硅薄膜太阳电池各层材料的制备以及相关工艺对它们材料性能的影响研究,并选取了适合电池沉积的各层工艺;3)i层厚度对太阳电池性能的影响,分别研究了它对电池的性能参数V_OC,J_SC,F和η的影响,并得出了当前沉积系统下的最佳i层厚度。