论文部分内容阅读
水射流辅助激光刻蚀碳化硅的影响研究
【摘 要】
：
碳化硅材料属于半导体陶瓷脆性材料,由于其具有良好的热物属性如低热导率,耐腐蚀和强度高等优点,已广泛运用于机械、化工和尖端科技等领域。传统的机械加工很难对陶瓷材料进行加工,即使能对其进行加工也容易导致材料在加工时发生崩裂等缺陷,损坏刀具。激光技术的发展为碳化硅材料的加工提供较为快速高效的加工方法,然而传统激光加工是在辅助气体的作用下利用激光加热熔化材料把熔化后的材料进行吹除,从而完成对材料的加工。作
【出 处】
：
安徽建筑大学
【发表日期】
：
2019年01期
其他文献