论文部分内容阅读
区熔法能拉制出高纯度、碳和氧含量较低的单晶硅,这些特点决定硅材料主要用来制造高反压和大电流的高压整流器、晶体闸流管等大功率器件,是一种不可取代的生产硅基材的方法。其中区熔硅的原材料多晶硅棒成本高,拉晶生产工艺难度大,人为操作依赖性大等是研制和生产大直径区熔硅单晶的难题。从上个世纪八十年代德国学者就开始应用数值模拟的方法对区熔硅的生长过程进行模拟分析并应用到实际实验生产中,我国从2013年开始在浙大、南开也相继应用数值模拟的方法对区熔硅生长进行模拟和分析,我国在区熔硅方面应用数值模拟分析的少,并且和国