【摘 要】
：
本论文基于硅基CMOS工艺中直径为0.6μm,高宽比大于1的接触孔,研究其形貌与金属填充(物理溅射工艺)效果的关系,并得出最优填充效果下的接触孔形貌。在各向同性和各向异性刻蚀
论文部分内容阅读
本论文基于硅基CMOS工艺中直径为0.6μm,高宽比大于1的接触孔,研究其形貌与金属填充(物理溅射工艺)效果的关系,并得出最优填充效果下的接触孔形貌。在各向同性和各向异性刻蚀菜单建立的过程中研究了相关工艺参数对于刻蚀形貌的影响,并确立了基准接触孔形貌(各向同性与各向异性刻蚀比例为1:1的酒杯形貌)。为了解决各向同性与各向异性部分的衔接尖角严重降低金属台阶覆盖率的问题,进行了降低尖角高度、减小尖角尖锐度和倒角三种实验来优化孔的形貌。最后结合SEM下的台阶覆盖情况和接触孔电阻值,确定了通过对基准接触孔形貌进行物理轰击倒角的最优方法。
其他文献
以西安地铁二号线十五标段穿越长安立交桥段区间隧道为依托,采取理论分析、现场监测与数值模拟相结合的方法,对城市浅埋暗挖隧道施工对既有桥梁的变形控制技术进行了研究,针
通过对小半径曲线地段整体道口线路病害的分析,研究对策措施,制定整治方案,并提出了建议性的源头技改设想,为工务道口安全出谋划策。
银行业,是经营风险和信用的企业。因此,银行业的风险管理能力在很大程度上决定了其核心竞争力。随着现代银行业经营活动及业务创新的日益复杂和频繁,银行业面临的风险因素也
通过对沪宁城际铁路客流特征细分引出需要解决的问题。从合理安排列车停站、合理安排运输能力以及提高服务质量着手寻找对策,找准解决问题的切实有效的方法,结合铁路自身技术
针对HXD2B型机车牵引电机传动端轴承温升报警情况,从结构特点、6A系统数据、分解检查、检修作业、诊断方式及报警限值等方面入手进行深入分析,并结合现行检修经验及管理要求
<正>一、资源型小城镇总体特征区位特征:就交通区位而言,一般位于区域交通干线上,是片区交通枢纽和物资集散中心;就经济地理位置而言,
十九世纪五十年代,Markowitz从有效市场假说出发建立了资产组合理论,开创了现代投资学。之后,Sharp(1664)、Linter(1665)和Moisson(1966)分别以此为基础推导出了一般均衡下资
<正>中国的古典诗词,是中国传统文化中最优秀的遗产之一,也深深烙于当代人的精神血脉之中。在中小学基础教育阶段,加强中国古典诗词的研习,对于培养学生审美意识、传承古典文
随着科学技术的高速发展,科学技术给人类生活及社会发展带来极大的便利,但由此产生的一系列生态环境的负面影响也随之显现,加剧了环境污染、能源危机、资源短缺等公害问题。
图形在大多数广告中具有举足轻重的作用,是构成广告设计的主体,是引起人们对广告关注的首要因素。通过图形的创意表达,人们获得广告宣传的正确信息,使广告得以传播、目标得以