【摘 要】
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空间激光通信常采用干涉截止滤光膜对不同波段的光谱进行分光。本文着重介绍了近红外三波段光学滤光片的研究与制备。根据膜系设计理论,分别选择Ti02和Si02作为高、低折射率
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空间激光通信常采用干涉截止滤光膜对不同波段的光谱进行分光。本文着重介绍了近红外三波段光学滤光片的研究与制备。根据膜系设计理论,分别选择Ti02和Si02作为高、低折射率材料,并借助膜系设计软件设计优化出合理的膜系,实现了770-860nm及1530-1575nm光谱范围双波段的高透过和1615-1700nm波段的高反射,并采用电子枪离子辅助沉积系统进行制备。优化工艺参数,通过调整补偿挡板使膜厚均匀性控制在3%以内。虽然制备膜层较厚,但经过光学性能、机械性能及耐环境检测均满足使用要求,并且所制备膜层用轮廓仪检测面形,面形P-V值变化达到预期要求。
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