Ni/CN<,x>异质结构的磁性和电输运特性

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【摘要】

：

非晶态碳氮(a-CNx)薄膜具有各种优良的性质,如高硬度、高弹性模量、极好的表面抗磨损力、可调光学带隙和优良的导电能力等。a-CNx薄膜与磁性金属形成的复合结构具有独特的电学和磁学性质,可应用于各类磁学和电学器件。本论文采用双对向靶直流磁控溅射系统,在不同的氮气分压(P_(N_2))下,制备了Ni/CNx/Ni三层异质结构和Ni/CNx多层膜结构,并对它们的微观结构、磁学和电输运特性进行了系统研究

【作者】

：

刘丹

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

磁控溅射非晶碳氮薄膜异质结构电输运特性磁电阻

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