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硅太阳能电池目前是我国最主要的能源产业之一，为了有效地减少硅太阳能电池表面光的反射率，提高太阳能电池的光电转化效率，镀减反射膜是一种有效减少光能反射率的方法。目前国内外减反射膜的种类很多，常用的减反射膜有SiO2、Si3N4、Ta2O3等，TiO2薄膜主要用在光催化方面，在减反射膜应用方面不是很多。本文利用溶胶-凝胶法制备了TiO2减反射膜、氮掺杂TiO2减反射膜和有机添加聚乙二醇（PEG）TiO2减反射膜，研究了乙醇添加量、水添加量、pH、提拉速度、氮掺杂量、聚乙二醇添加量等对薄膜透射率的影响；探讨了氮掺杂TiO2减反射膜紫外-可见光谱影响的机制；并对比了镀有各种薄膜的太阳能电池的光电特性。采用紫外-可见分光光度计（UV-Vis）对薄膜进行了紫外可见透射光谱分析、原子力显微镜（AFM）观察了薄膜表面形貌、机械性能测试分析了薄膜耐摩擦强度和附着力大小、I-V曲线测试分析了太阳能电池的光伏特性，主要创新成果有：（1）采用单因素实验方法确定了制备TiO2减反射膜的最佳工艺。紫外-可见透射光谱、原子力显微镜分析表明，溶胶配比和提拉速度对TiO2减反射膜的增透效果和薄膜的表面形貌有显著影响。研究得到，当乙醇添加量为20ml、水添加量为3ml、溶液pH为4时TiO2减反射膜的透过率最大；且TiO2减反射膜表面致密，表面粗糙度为2.607nm，最大凸起峰值为26.73nm。（2）非金属氮掺杂改变了TiO2减反射膜的光学特性。紫外-可见光谱分析表明：氮掺杂的TiO2减反射膜在可见光区的增透效果明显，薄膜对可见光的吸收边产生红移现象，薄膜吸收边红移的大小与掺杂量有一定的关系，当氮掺杂增大到一定量后吸收边的红移减弱。研究得到，氮掺杂量为0.1g时薄膜的增透效果最明显，采用拟合公式（?）得到TiO2减反射膜的光学带隙为3.486，氮掺杂的TiO2减反射膜的光学带隙为3.374，氮掺杂后引入杂质能级改变了TiO2减反射膜光学带隙；原子力显微镜分析显示：氮掺杂TiO2减反射膜比未掺杂TiO2减反射膜的表面更加致密平整，粗糙度仅为1.780nm，最大凸起峰值为16.69nm。（3）表面活性剂聚乙二醇改变了TiO2薄膜的结构及形貌。紫外-可见光谱分析表明：聚乙二醇的添加量、煅烧温度对TiO2减反射膜的透过率有很大的影响。研究发现，表面活性剂量过多过少、煅烧温度过高过低都不利于薄膜的增透效果，当煅烧温度为500℃，PEG2000添加量0.1g、PEG4000添加量0.1g、PEG6000添加量0.05g时薄膜有良好的增透效果；原子力显微镜分析显示：添加聚乙二醇的TiO2薄膜表面形成疏松多孔结构，孔的大小随聚乙二醇添加量的多少有关，随聚乙二醇添加量的不断增多薄膜表面疏松、平整度差，适量添加聚乙二醇有利于改变薄膜的结构及形貌。（4）镀氮掺杂TiO2减反射膜的硅太阳能电池转化效率最高。镀氮掺杂TiO2减反射膜和镀添加PEG4000TiO2减反射膜的太阳能电池转化效率与镀膜前相比分别提高了1.6和1.08倍，镀各种薄膜的太阳能电池转化效率η的大小顺序为：η氮掺杂＞ηPEG4000＞ηTiO2＞ηPEG2000＞η电池＞ηPEG6000，结果显示氮掺杂TiO2薄膜的光能利用率最大，能够更大的提高硅太阳能电池的转化效率，而添加PEG6000的TiO2减反射膜降低了太阳能电池的转化效率，其有待进一步通过改善工艺条件改变薄膜的性能，提高电池的光电特性。