太阳能发电方式主要有光热发电和光伏发电两种基本形式。在光热领域,槽式太阳能集热器中介质温度越高,热发电厂的卡诺循环效率越高。随着导热介质由合成导热油向更高效的熔融盐转变,开发低发射率的高温光谱选择性吸收涂层成为中高温太阳能热利用的关键。在光伏领域,光伏组件接受太阳辐射后导致温度升高,进而对光电转换效率产生不利影响。光伏盖板上的光谱选择性透过涂层具有增强可见光透过率并反射红外辐射的功能,可进行光伏组件的智能控温,实现性能的提升。因此,亟需开发出可见光波段高透过率、红外波段低透过率的光谱选择性透过涂层。本文在探究Ag膜的微观结构及其光谱反射特性的基础上,分别对Ag基光谱选择性吸收/透过涂层进行研制,包括Ag/TiAlONM/TiAlOND/AlON涂层的设计制备以及热稳定性和结合力研究,以及SiN/Ag/SiN涂层的优化设计以及热稳定性研究。得到相关结论如下:利用磁控溅射技术制备Ag膜,探究不同厚度、基底粗糙度和沉积温度对其微观结构及反射光谱的影响。结果表明,随着基底粗糙度和沉积温度的升高,Ag膜反射光谱降低。随着Ag膜厚度的增加,晶粒逐渐生长团聚,其红外波段的反射光谱先升高后降低。当Ag膜厚度为120 nm时,红外发射率最低,仅为0.6%。使用TFcale软件设计Ag/TiAlONM/TiAlOND/AlON涂层并利用磁控溅射进行制备。各层厚度及光学性能与理论设计值具有良好的一致性。当各层厚度分别为120 nm、68nm、27nm和35 nm时,涂层的吸收率为95.3%,400℃下的发射率仅为5.8%。相比原有Cu基光谱选择性吸收涂层,Ag基涂层具有更低的发射率且在600℃退火96 h后仍保持较高的光谱选择性。另外,100 nm的TiN粘结层能使Ag基涂层与不锈钢间的结合力提升至46.71 N。使用TFcale软件设计SiN/Ag/SiN涂层并利用磁控溅射进行制备。当各层厚度分别为30 nm、15 nm和35 nm时,SiN/Ag/SiN涂层的可见光和近红外波段的透射率分别为73.1%和17.2%。采用单一变量法优化各层厚度,发现随着内外层SiN厚度增大,涂层的可见光及近红外透射率均先升高后降低。将优化后的涂层在200℃下退火16h后光谱选择透过性不变,但当温度高于300℃时,由于Ag膜与SiN层之间的相互扩散,选择透过性随退火时长的延长而逐渐减小。