【摘 要】
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微机电系统(MEMS)是一门多学科交叉的综合科学,MEMS动力学作为其中的重要分支,主要研究微系统在各种力作用下运动状态的定性和定量的变化规律,现如今已逐渐成为一个新的研究领域和研究方向。微悬臂梁是MEMS器件中最典型的结构,也是机电耦合的关键元件,其动力学特性直接影响了系统的设计和性能。本文主要对微悬臂梁机电耦合系统的动力学特性进行了研究。首先研究了MEMS阻尼特性,应用一维N-S方程和简化的雷
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微机电系统(MEMS)是一门多学科交叉的综合科学,MEMS动力学作为其中的重要分支,主要研究微系统在各种力作用下运动状态的定性和定量的变化规律,现如今已逐渐成为一个新的研究领域和研究方向。微悬臂梁是MEMS器件中最典型的结构,也是机电耦合的关键元件,其动力学特性直接影响了系统的设计和性能。本文主要对微悬臂梁机电耦合系统的动力学特性进行了研究。首先研究了MEMS阻尼特性,应用一维N-S方程和简化的雷诺方程,建立了滑膜阻尼和压膜阻尼模型,得到了相应的阻尼系数。采用数值仿真和有限元模拟仿真相结合的
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流量计量是计量科学技术中重要组成部分。提高计量精度与计量效率,对于保证产品质量、提高劳动生产力和促进科学技术的进步都有着重大作用。因此建立流量计量的标准装置,以保证流量计在量值传递过程中的准确度是必不可少的。本论文依托于上海工业自动化仪表研究院《标准表法气体流量标准装置的研制》项目,首先介绍了国内外技术水平作为课题背景,随之简单介绍主流流量计及相关的检定标准装置的工作原理作为技术背景,最后就研发临
大型单体可动射电望远镜是空间目标探测的重要设备,在天文观测和航天测控领域发挥着非常重要的作用。但是随着望远镜直径的扩大,其结构会出现一定的形变,对主反射面的精度产生影响。为了尽可能减小该种状况对于射电望远镜接受效率的影响,引入了主反射面实时调整系统,来实时调整天线的面板安装位置和姿态,使得天线在任何时候都能够达到接受效率的最大化。主动面系统作为一套机电一体化系统,具有高精度、高可靠性、可远程监控等
大型高温锻件在线测量技术是锻造加工过程中的重要环节。与传统接触式锻件测量相比,非接触式测量具有测量速度快,精度高,可重复性好等优点。激光测距传感器是典型的非接触式测量工具,广泛应用于场景重构、定位与导航、目标识别与跟踪等领域,非常适合尺度范围广、场地条件恶劣的大型锻件热态工况下快速在线几何尺寸、形状测量应用。为了对具有大空间尺度、复杂多曲面的大型锻件进行多方位的尺寸测量,必须从不同视角下进行采集表
游戏机、笔记本电脑等电子行业机构件组装过程中机构件尺寸控制是产品质量管控中较为重要的一个环节。随着开发机种扩充及产量的不断增加，结构件产品尺寸检测量也不断攀升。在原有的机台数及人员的配置下，顾客送检等待的时间及队长将不断增加，势必会影响到实验室测量服务质量及顾客对服务的满意度，而盲目的增加机台数又会导致机台空闲率高，造成投入资金的浪费。针对以上工程背景，对现有的测量服务机台及人员配置作以分析并进行
由于激光具有单色性、相干性好、方向性强、抗干扰能力强等优点,激光雷达已被广泛应用于工业生产中的非接触测量场合。基于二维激光雷达和伺服电机搭建而成的三维激光测量系统对现场大型高温锻件进行在线尺寸快速扫描测量,由于现场的复杂环境,测量系统进行短时间内得到海量的点云数据。点云数据的后处理过程直接决定了测量功能能否实时实现以及测量精度是否满足。因此,对点云数据后处理方法和效率的研究显得尤其重要。本论文课题
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天线主反射面主动调整系统作为上海65米射电望远镜项目的重要组成部分,在设计开发过程中需要综合考虑性能、可靠性和其对射电望远镜自身可能产生的影响,即电磁兼容性考虑。然而作为一个完整而复杂的系统,射电望远镜主反射面主动调整系统在设计研制中存在诸多需要考虑的问题,如主动调整系统中电磁干扰的产生原理,电磁干扰的几种主要模式,电磁干扰的传播耦合途径等。本文结合上海65米射电望远镜主反射面主动调整系统的具体设
近代以来,各国高科技工业迅速崛起,微电子工业、光学工业等产品的生产制造经常需要在高精密定位的平台上来进行。本论文以精密三自由度磁致伸缩驱动平台为研究对象,进行了一系列仿真与实验测试。本研究采用三个超磁致伸缩驱动器(Giant Magnetostrictive Actuator,GMA)做驱动单元,激光位移传感器测量位移作为反馈信号,引入自适应控制方法对三自由度磁致伸缩驱动平台进行精密驱动控制。论文
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