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铁电薄膜/半导体异质结表现出的电阻开关效应是制备铁电随机存储器的所需的性质。铁电薄膜要有高的居里温度和剩余极化。铁酸铋是为数不多的几种在室温下同时呈现铁电性和铁磁性的单相多铁材料。铁酸铋具有扭曲的斜六面体钙钛矿结构(空间群编号为R3c),铁电有序(铁电居里温度为1103K)。铁酸铋的剩余极化值Pr可以达到90μC/cm~2,接近锆钛酸铅PZT的性能,能够成为无铅铁电随机存储器的材料。但是由于铁酸铋中铁元素价态的变化和氧空位浓度的变化使得其器件的漏电流较大。在本文中将会研究使用溶胶凝胶法制备的铁酸铋薄