本论文的主要内容是研究和开发一个半导体设备的数据采集控制系统。该系统采用eBox作为硬件平台和嵌入式Linux作为操作系统。根据用户的要求,在Qt/Embedded开发环境下,用C++语言完成了系统应用程序的设计。论文分析了嵌入式系统的硬件架构和嵌入式操作系统的特点,研究了应用嵌入式Linux操作系统的基础。根据用户的设备控制要求,设计了半导体数据采集控制系统的方案,提出系统的主要功能模块,确定嵌入式硬件平台eBox4850。搭建了系统软件环境,分析了Linux内核结构,重点研究了根文件系统的生成和内核的裁剪,实现嵌入式Linux在eBox4850上的完整移植。在PC端搭建了Qt/Embedded开发环境；用于开发和运行目标机上的应用程序。编写了数据采集控制系统的应用程序,实现了对多个传感器的数据采集、处理和显示,并根据结果对系统进行控制。开发工作包括系统的总体设计,控制软件设计和一套相对完整的串行通信协议的制定。系统实现了课题的要求,并在进行大量测试时运行良好,证明了将先进的嵌入式软硬件技术应用到数据采集控制系统设计中,具有一定的可行性和应用价值。