激光调阻机扩展测量系统的研制

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随着信息技术的迅猛发展,各类电子产品的小型化已经是不可逆转的趋势。而厚膜混合集成电路的发展对电子设备的微型化起到了重要的推动作用,但其自身的制作工艺决定了厚膜电阻阻值的存在制造误差大的问题,必须对厚膜电阻进行微调才能满足精度要求,激光调阻机就是一种非常理想的对厚膜电阻进行微调的自动化加工设备。市场现有激光调阻机无法满足毫欧级电阻以及板上网络电阻的测量与修调需求,本课题针对这一现状设计开发了激光调阻机扩展测量系统。该系统主要包括毫欧电阻扩展测量仪和网络电阻扩展测量仪,本文围绕上述扩展测量系统进行了以下几个方面的研究和设计工作。本文首先分析了几种电阻测试的基本方法与原理,从中选定了开尔文连接测试方法作为本课题的测试方案,并在此基础上提出了激光调阻机扩展测量系统的总体规划与技术方案。其次分析了常用恒流源电路的基本原理,并提出了高精度的程控大电流恒流源的设计方案,完成了毫欧电阻扩展测量仪的硬件设计、散热设计及软件设计,满足了激光调阻中毫欧级电阻测量对激励源的要求。然后以电压跟随电路为原型,比较分析了基于电压跟随的电阻隔离电路设计方案,并完成了网络电阻扩展测量仪的硬件设计和软件设计,成功实现了对待测网络电阻的隔离。最后,对激光调阻扩展测量系统进行了总结。
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