脉冲功率在工业等领域应用日趋广泛,固态Marx发生器—一种重要的产生脉冲功率的手段已经获得了普遍的认可和采用,但固态Marx发生器在容性负载下仍存在诸多问题。针对这一现状,本文阐述了典型的Marx发生器的电路结构,并分析了Marx发生器工作过程中可能出现的三种工作模态,并给出了三种状态下Marx发生器的简化电路模型。借助基本工作模式的原理特性进一步的分析了在容性负载下Marx发生器的整体工作特性,分析了在容性负载工作条件下可能出现瞬时电流过大的情况,会造成开关器件和储能电容因电流过大而发生性能改变甚至损毁。对于这种情况,总结了现有的保护限流电路的特点,比较了不同处理方式的优缺点。接着本文通过分析MOSFET、IGBT的内部结构、工作原理,并给出了这两种器件的工作特性。结合电压驱动型器件的工作原理和输出特性,设计了一种能够快速响应且不会发生故障锁死的保护电路,能够轻松的应对容性负载或负载不确定的情况,对瞬间的过流可实现柔性可变的自主限制,同时在正常情况下也不会影响固态Marx的脉冲上升沿陡度等输出性能;并设计了一种巧妙的取电电路,该电路借助每一级电容的能量进行转换,给同一级的驱动电路供电,该电路成本低廉,结构简单,实施方便,在级数比较多的固态Marx发生器中能够大大的降低系统的复杂度使得系统整体的可靠性得到保障。最后,给出了实际的Marx发生器的整体设计方法,为了验证该设计的可行性,搭建了实物平台进行验证。实验结果表明,本文所提出来的驱动及其保护电路在实际应用中,对电路能起到有效地保护而且对输出脉冲的上升沿几乎没有影响。因此,本文所提出的限流保护方式,具有很高的应用价值。