SiO₂减反膜以其低折射率、低成本等优点在太阳能设备和各种光学仪器中得到广泛应用，越来越受到人们的关注。采用溶胶-凝胶和浸渍-提拉法分别制备了碱催化和酸催化的SiO₂减反膜，并且制备了酸/碱两步催化的SiO₂/TiO₂双层减反膜和多孔SiO₂/TiO₂减反膜。利用紫外-可见分光光度计（UV-VIS）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X-射线衍射仪（XRD）、椭圆偏振光谱仪以及接触角测量仪（CA）等手段对薄膜进行表征，考察了不同制备工艺对薄膜的减反性、耐磨性以及自洁性等各种性能的影响。主要研究结果如下：1.以氨水为催化剂制备了碱催化SiO₂溶胶，考察了溶胶陈化时间、氨水用量和溶胶浓度对薄膜减反性能的影响。结果表明，以摩尔比TEOS:H₂O:NH₃:EtOH为1:2:0.64:37的溶胶，陈化时间在5⁷天内，镀制的薄膜减反效果最佳，其峰值透过率可以达到98.5%，平均透过率较空白玻璃提高了7%左右，但碱催化SiO₂薄膜表面结构疏松，孔隙率高，且SiO₂粒子较大，从而导致机械强度较差。2.以盐酸为催化剂制备了酸催化SiO₂溶胶，考察了溶胶陈化时间、溶胶浓度和水的用量对薄膜减反性能的影响。结果表明，以TEOS:H₂O:HCl:EtOH为1:4:0.01:20的摩尔比制备的SiO₂溶胶，陈化3天后镀膜最佳。与碱催化制备的SiO₂薄膜相比，其透光率较低，平均透过率只有93.4%，但由于酸催化的SiO₂薄膜结构较致密，孔隙率低，所以机械强度较好。3.用酸/碱两步法制备了既具有较好透光率又有一定机械强度的SiO₂减反膜，并再在该SiO₂减反膜上增镀一层具有自洁功能的TiO₂薄膜，增强薄膜的耐久性。结果表明，SiO₂/TiO₂减反膜在可见光波段下可将普通玻璃的平均透过率提高约6%，具有较好的宽带增透效果，具备了实际使用的减反性能；另外，SiO₂/TiO₂减反膜结构致密，粗糙度小，机械强度好，且具有自洁功能，有效地增强了薄膜的耐候性。4.往溶胶中加入模板剂，制备了多孔SiO₂/TiO₂减反膜。简化制备工艺，但仍具有很高的透光率，峰值透过率达97.3%。内层结构致密的酸催化SiO₂薄膜，使得该薄膜粗糙度和粒度均较小，具有更加优良的耐磨擦性能。多孔SiO₂/TiO₂减反膜的自洁功能得到了很大的提高，光催化降解2h后可将5mg/L的甲基橙溶液降解56.5%，提高了其在实际应用中的使用寿命。